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               RTP 快速退火炉 当前位置:网站首页 > 产品展示

          RTP快速退火炉

          发布时间:2017-11-15  浏览次数:20158

          设备简介:

            快速退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),不但拥有非常快的升温速率,而且在烧结工艺运行完结后,直接将试样移动至室温下,实现物理状态下的快速降温。设备采用了内管进气、外管出气的气路结构,使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。退火炉是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触,保证试样温度的准确性。



           

           

           

           

           



          配置详情

          1. 双层钢结构;

          2. 高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,最大节约能源;

          3. 耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命;

          4. 氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度;

          5. 该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6。

          产品型号

          NBD-HR1200-110TI

          电气规格

          AC380V   15KW

          可达温度

          1100 ℃(长时间使用必须外接水冷装置)

          连续温度

          1000 ℃ (连续使用必须外接水冷装置)

          可达加热速率

          建议≤  100 ℃/S

          加热区长度

          200mm


          传感器类型


          S型单铂铑



          反应腔室内径尺寸

          Φ100X200mm

          式样有效空间


          3.5"

          炉管尺寸

          Φ80*120mm

          控制系统

           

          1.可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦;

          2.实验过程更加直观,操作更加便捷;

          3.NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;

          4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

          温度精度

          +/- 1 ℃

          加热元件

           

          红外灯管加热

          密封系统

           

           

           

          真空度:≤5Pa(机械泵)

          压力测量与监控

           

          采用数显真空计,可使设备炉管内的真空度显示更加直观,实验结果更加准确。

          净重

          90KG

          设备使用注意事项

              1. 设备炉膛温度≥300℃时,移动炉膛后,禁止触碰原炉膛所在位置的石英管,避免受到伤害;

          2. 设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

          3. 设备使用时,炉管内压力不得超过0.125MPa(绝对压力),以防止压力过大造成设备损坏;

          4. 真空下使用时,设备使用温度不得超过800℃。

             5. 供气钢瓶内部气压较高,向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在选购试验用小压力减压阀,减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。

             6.当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压 相当,保持在常压状态;

             7.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

             8.加热的实验时,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若绝对压力表读数大于0.15MPa,必须立刻打开排气端阀门,以防意外发生(如炉 管破裂等)

          服务支持

          1年质保,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如炉管和O形圈等) 


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